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ERS electronic推出采用光子解鍵合技術(shù)的全自動設(shè)備

2024-05-29 17:36

ERS electronic宣布推出兩款新型全自動Luminex系列設(shè)備:LUM300A1和LUM300A2,專為處理300毫米基板設(shè)計,采用光子解鍵合技術(shù),提供高靈活性、生產(chǎn)能力和成本效益。這些設(shè)備在無應(yīng)力解鍵合方面表現(xiàn)突出,并可節(jié)省超過30%運營成本,具備強大的晶圓、薄晶圓處理能力,每小時產(chǎn)出量至少為45個晶圓,并可與多種鍵合材料兼容。LUM300A1為解鍵合工藝提供量產(chǎn)型解決方案,LUM300A2還另外配有晶圓清洗模塊。(美通社)

消息來源:全球TMT